Article Dans Une Revue
Beilstein Journal of Nanotechnology
Année : 2013
Nathanaelle SCHNEIDER : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02148649
Soumis le : mercredi 5 juin 2019-16:33:40
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02148649 , version 1
- DOI : 10.3762/bjnano.4.85
- PUBMEDCENTRAL : PMC3869344
Citer
Cathy Bugot, Nathanaelle Schneider, Daniel Lincot, Frédérique Donsanti. Synthesis of indium oxi-sulfide films by atomic layer deposition: The essential role of plasma enhancement. Beilstein Journal of Nanotechnology, 2013, 4, pp.750-757. ⟨10.3762/bjnano.4.85⟩. ⟨hal-02148649⟩
40
Consultations
0
Téléchargements