Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology A
Année : 2013
Nathanaelle SCHNEIDER : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02148647
Soumis le : mercredi 5 juin 2019-16:32:59
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Citer
Pascal Genevée, Frédérique Donsanti, Nathanaelle Schneider, Daniel Lincot. Atomic layer deposition of zinc indium sulfide films: Mechanistic studies and evidence of surface exchange reactions and diffusion processes. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2013, 31 (1), pp.01A131. ⟨10.1116/1.4768919⟩. ⟨hal-02148647⟩
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