Characterization and control of laser induced modification inside silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Laser Applications Année : 2019

Characterization and control of laser induced modification inside silicon

Xinya Wang
  • Fonction : Auteur
Xiaoming Yu
  • Fonction : Auteur
Hongyu Shi
  • Fonction : Auteur
Xianhua Tian
  • Fonction : Auteur
Brett Depaola
  • Fonction : Auteur
Matthew Berg
  • Fonction : Auteur
Shuting Lei
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1045846
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20180606 Characterization and control of laser induced modification inside silicon.pdf (821.89 Ko) Télécharger le fichier
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Dates et versions

hal-02104915 , version 1 (23-05-2019)

Identifiants

Citer

Xinya Wang, Xiaoming Yu, Hongyu Shi, Xianhua Tian, Maxime Chambonneau, et al.. Characterization and control of laser induced modification inside silicon. Journal of Laser Applications, 2019, 31 (2), pp.022601. ⟨10.2351/1.5096086⟩. ⟨hal-02104915⟩
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