Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
UMI3463 LN2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02097249
Soumis le : jeudi 11 avril 2019-20:49:08
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-11:48:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02097249 , version 1
Citer
Jan J. Dubowski, Srivatsa Aithal. Photoluminescence monitored photocorrosion for metrology of GaAs/AlGaAs heterostructures at the nanoscale: digital etching of GaAs: a 30-year (almost) perspective. SPIE LASE, 2017, Jan 2017, San Fransisco, United States. ⟨hal-02097249⟩
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