A dual-axis CMOS frontside bulk micromachined thermal accelerometer - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02056486 , version 1 (04-03-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02056486 , version 1

Citer

A. Garraud, Alain Giani, P. Combette, Benoit Charlot, Murielle Richard. A dual-axis CMOS frontside bulk micromachined thermal accelerometer. Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2010, 2010, Séville, Spain. ⟨hal-02056486⟩
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