1T-DRAM at the 22nm technology node and beyond: An alternative to DRAM with high-k storage capacitor
M. Bawedin
(1, 2)
,
S. Cristoloveanu
(3)
,
A. Hubert
(4)
,
G. Guegan
(5)
,
S. Chang
,
B. Sagnes
(1, 2)
,
Frédéric Martinez
(1, 2)
,
F. Pascal
(1, 2)
,
M. Valenza
(1, 2)
,
A. Hoffmann
(1, 2)
1
IES -
Institut d’Electronique et des Systèmes
2 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
5 STMicroelectronics
2 M@CSEE - Micro électronique, Composants, Systèmes, Efficacité Energétique
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
5 STMicroelectronics
M. Bawedin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173059
- IdHAL : maryline-bawedin
- ORCID : 0000-0001-9984-7591
- IdRef : 253125103
S. Cristoloveanu
- Fonction : Auteur
- PersonId : 172108
- IdHAL : sorin-cristoloveanu
- ORCID : 0000-0002-3576-5586
- IdRef : 030493188
S. Chang
- Fonction : Auteur
B. Sagnes
- Fonction : Auteur
- PersonId : 19856
- IdHAL : bruno-sagnes
- ORCID : 0000-0002-6324-8594
- IdRef : 147706467
Frédéric Martinez
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15532
- IdHAL : frederic-martinez
- ORCID : 0000-0002-3917-7087
- IdRef : 074261118
F. Pascal
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18693
- IdHAL : fabien-pascal