A MEMS calorimetric shear-stress sensor and a method of fabrication (Brevet d’application provisoire en co-propriété avec l'Ecole de Technologie Supérieure de Montréal et l’Université de Montpellier) - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2016

A MEMS calorimetric shear-stress sensor and a method of fabrication (Brevet d’application provisoire en co-propriété avec l'Ecole de Technologie Supérieure de Montréal et l’Université de Montpellier)

Domaines

Electronique
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02025392 , version 1 (19-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02025392 , version 1

Citer

J. Weiss, Alain Giani, P. Combette, Benoit Charlot. A MEMS calorimetric shear-stress sensor and a method of fabrication (Brevet d’application provisoire en co-propriété avec l'Ecole de Technologie Supérieure de Montréal et l’Université de Montpellier). France, Patent n° : 59553 (Attorney docket number : 6297P). 2016. ⟨hal-02025392⟩
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