Ge Addition during 4H-SiC Epitaxial Growth by CVD: Mechanism of Incorporation
Véronique Soulière
(1)
,
Kassem Alassaad
(1)
,
François Cauwet
(1)
,
Hervé Peyre
(2)
,
Thomas Kups
(3)
,
Jörg Pezoldt
(4)
,
Pawel Kwasnicki
(2)
,
Gabriel Ferro
(1)
Kassem Alassaad
- Fonction : Auteur
- PersonId : 771962
- IdRef : 184214319
François Cauwet
- Fonction : Auteur
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Hervé Peyre
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- IdHAL : herve-peyre
- ORCID : 0000-0003-2434-0440
Pawel Kwasnicki
- Fonction : Auteur
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Gabriel Ferro
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : gabriel-ferro
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