Plasma parameters of pulsed-dc discharges in methane used to deposit diamondlike carbon films - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2009

Plasma parameters of pulsed-dc discharges in methane used to deposit diamondlike carbon films

C. Corbella
  • Fonction : Auteur
Miguel Rubio-Roy
E. Bertran
  • Fonction : Auteur
J. Andújar
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02017451 , version 1 (13-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02017451 , version 1

Citer

C. Corbella, Miguel Rubio-Roy, E. Bertran, J. Andújar. Plasma parameters of pulsed-dc discharges in methane used to deposit diamondlike carbon films. Journal of Applied Physics, 2009, 106 (3), pp.033302. ⟨hal-02017451⟩
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