Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography

F. Vocanson
M. Langlet
S. Reynaud
I. Verrier
O. Parriaux
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 861077
Y. Jourlin

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02016941 , version 1 (13-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02016941 , version 1

Citer

L. Berthod, F. Vocanson, M. Langlet, C. Veillas, S. Reynaud, et al.. Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography. SPIE Photonics Europe, Apr 2016, Bruxelles, Belgium. ⟨hal-02016941⟩
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