Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography

L. Berthod
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Hubert Curien
F. Vocanson
Laboratoire Hubert Curien
M. Langlet
Laboratoire des matériaux et du génie physique
C. Veillas
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Hubert Curien
S. Reynaud
Laboratoire Kastler Brossel
CV
I. Verrier
Laboratoire Hubert Curien
J. Laukkanen
  • Fonction : Auteur
University of Eastern Finland
O. Parriaux
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 861077
Laboratoire Hubert Curien
Y. Jourlin
Laboratoire Hubert Curien

Domaines

Matériaux

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https://hal.science/hal-02016941

Soumis le : mercredi 13 février 2019-00:34:03

Dernière modification le : lundi 16 décembre 2024-15:38:03

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02016941 , version 1 (13-02-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02016941 , version 1

Citer

L. Berthod, F. Vocanson, M. Langlet, C. Veillas, S. Reynaud, et al.. Direct sub-micron microstructuring on cylinder using TiO2 sol-gel process and radial phase mask based lithography. SPIE Photonics Europe, Apr 2016, Bruxelles, Belgium. ⟨hal-02016941⟩

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