GaAs and InGaAs heteroepitaxy on blanket and patterned Si(100) 300mm substrates by MOCVD and their physical properties
Thierry Baron
(1)
,
Reynald Alcotte
(1)
,
Mickaël Martin
(1)
,
Romain Cipro
(1)
,
Tiphaine Cerba
(1)
,
J Roque
(1)
,
Sylvain David
(1)
,
Franck Bassani
(1)
,
Jeremy Moeyaert
(1)
,
Frédérique Ducroquet
(2)
,
Yann Bogumilowicz
(3)
,
Névine Rochat
(3)
,
Nicolas Bernier
(3)
,
E. Sanchez
(4)
,
X y Bao
(4)
,
Jean-Philippe Pin
(4)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 Applied Materials, Santa Clara
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 Applied Materials, Santa Clara
Thierry Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813
Sylvain David
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1086
- IdHAL : sylvain-david
Franck Bassani
- Fonction : Auteur
- PersonId : 766293
- ORCID : 0000-0001-8688-1328
Frédérique Ducroquet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 171005
- IdHAL : frederique-ducroquet
- ORCID : 0000-0001-8770-9650
- IdRef : 081930062
Jean-Philippe Pin
- Fonction : Auteur
- PersonId : 742096
- IdHAL : jean-philippe-pin
- ORCID : 0000-0002-1423-345X
- IdRef : 033123152