Communication Dans Un Congrès
Année : 2018
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https://hal.science/hal-01981248
Soumis le : lundi 14 janvier 2019-22:03:24
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01981248 , version 1
Citer
César Masse de La Huerta, Viet Nguyen, Pedro Brandao Veiga, Jean-Marc Dedulle, Daniel Bellet, et al.. Use of computational fluid Dynamics simulations to tune the deposition regime in close-proximity spatial atomic layer deposition. E-MRS Fall Meeting 2018, Sep 2018, Warsaw, Poland. ⟨hal-01981248⟩
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