Use of computational fluid Dynamics simulations to tune the deposition regime in close-proximity spatial atomic layer deposition - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01981248 , version 1 (14-01-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01981248 , version 1

Citer

César Masse de La Huerta, Viet Nguyen, Pedro Brandao Veiga, Jean-Marc Dedulle, Daniel Bellet, et al.. Use of computational fluid Dynamics simulations to tune the deposition regime in close-proximity spatial atomic layer deposition. E-MRS Fall Meeting 2018, Sep 2018, Warsaw, Poland. ⟨hal-01981248⟩
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