Poster De Conférence
Année : 2018
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https://hal.science/hal-01979497
Soumis le : dimanche 13 janvier 2019-10:18:21
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01979497 , version 1
Citer
César Masse de La Huerta, Viet Nguyen, Pedro Brandao Veiga, Jean-Marc Dedulle, Daniel Bellet, et al.. Use of Computational Fluid Dynamics (CFD) simulations to predict and tune the deposition mode in close-proximity Spatial Atomic Layer Deposition (SALD). COMSOL Conference 2018, Oct 2018, Laussanne, Switzerland. ⟨hal-01979497⟩
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