Atomic Scale Investigation of Arsenic Segregation in High-k Metal Gate Stacks - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Scripta Materialia Année : 2016
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Dates et versions

hal-01954200 , version 1 (13-12-2018)

Identifiants

Citer

Robert Estivill, Marc Juhel, Magali Gregoire, Adeline Grenier, Vincent Delaye, et al.. Atomic Scale Investigation of Arsenic Segregation in High-k Metal Gate Stacks. Scripta Materialia, 2016, 113, pp.231-235. ⟨10.1016/j.scriptamat.2015.10.034⟩. ⟨hal-01954200⟩
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