Formation of C49-TiSi2 in flash memories : a nucleation controlled phenomenon ?
Dominique Mangelinck
(1)
,
P. Gas
(2)
,
T. Badéche
,
E. Taing
,
F. Nemouchi
(3)
,
C. Perrin-Pellegrino
(1)
,
Magali Putero
(1)
,
S. Niel
(4)
,
P. Fornara
(5)
,
J. M. Mirabel
,
L. Fares
,
P. H. Albarede
1
IM2NP -
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence
2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 ST Microlectronics
2 L2MP - Laboratoire matériaux et microélectronique de Provence
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
4 ST-CROLLES - STMicroelectronics [Crolles]
5 ST Microlectronics
Dominique Mangelinck
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17430
- IdHAL : dominique-mangelinck
- ORCID : 0000-0002-3429-1948
- IdRef : 086297600
T. Badéche
- Fonction : Auteur
E. Taing
- Fonction : Auteur
Magali Putero
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170674
- IdHAL : magali-putero
- ORCID : 0000-0001-6527-4334
- IdRef : 231973950
J. M. Mirabel
- Fonction : Auteur
L. Fares
- Fonction : Auteur
P. H. Albarede
- Fonction : Auteur