Epitaxial growth of high-κ oxides on silicon - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 2008

Epitaxial growth of high-κ oxides on silicon

G. Delhaye
L. Largeau
P. Regreny
B. Vilquin
C. Botella
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 918205
M. Gendry
G. Grenet
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01939925 , version 1 (29-11-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01939925 , version 1

Citer

C. Merckling, Guillaume Saint-Girons, G. Delhaye, G. Patriarche, L. Largeau, et al.. Epitaxial growth of high-κ oxides on silicon. Thin Solid Films, 2008, 517 (1), pp.197-200. ⟨hal-01939925⟩
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