Epitaxial growth of high-κ oxides on silicon
C. Merckling
(1, 2)
,
Guillaume Saint-Girons
(1)
,
G. Delhaye
(1)
,
G. Patriarche
(3)
,
L. Largeau
(3)
,
V. Favre-Nicollin
(4)
,
M. El-Kazzi
(1)
,
P. Regreny
(1)
,
B. Vilquin
(1)
,
O. Marty
(5)
,
C. Botella
(1)
,
M. Gendry
(1)
,
G. Grenet
(1)
,
Y. Robach
(1)
,
G. Hollinger
(1)
Guillaume Saint-Girons
- Fonction : Auteur
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G. Delhaye
- Fonction : Auteur
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G. Patriarche
- Fonction : Auteur
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L. Largeau
- Fonction : Auteur
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P. Regreny
- Fonction : Auteur
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B. Vilquin
- Fonction : Auteur
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M. Gendry
- Fonction : Auteur
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G. Grenet
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