Correlative HAADF-STEM and EDX-STEM Tomography for the 3D Morphological and Elemental Analysis of FinFET Semiconductor Devices
Julien Sorel
(1, 2, 3)
,
Martin Jacob
(1)
,
Toby Sanders
(4)
,
Adeline Grenier
(1)
,
Rafael Bortolin Pinheiro
(1)
,
Frederic Mazen
(1)
,
Thierry Epicier
(5)
,
Zineb Saghi
(1)
1
CEA-LETI -
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 INSA - Institut National des Sciences Appliquées
3 UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1
4 School of Mathematical and Statistical Sciences (Arizona, Tempe)
5 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
2 INSA - Institut National des Sciences Appliquées
3 UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1
4 School of Mathematical and Statistical Sciences (Arizona, Tempe)
5 MATEIS - Matériaux, ingénierie et science [Villeurbanne]
Thierry Epicier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 15414
- IdHAL : thierryepicier
- ORCID : 0000-0001-5552-1418
- IdRef : 033726477