In situ spectroscopic ellipsometry study of low-temperature epitaxial silicon growth - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications Année : 2018
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hal-01908701 , version 1 (30-10-2018)

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L. Halagacka, M. Foldyna, R. Leal, P. Roca I Cabarrocas. In situ spectroscopic ellipsometry study of low-temperature epitaxial silicon growth. Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications, 2018, 30, pp.73 - 77. ⟨10.1016/j.photonics.2018.04.011⟩. ⟨hal-01908701⟩
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