Combined ToF-SIMS and AFM protocol for accurate 3D chemical analysis and data visualization - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics Année : 2018
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Dates et versions

hal-01858392 , version 1 (20-08-2018)

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Citer

Maiglid Moreno, Isabelle Mouton, Nicolas Chevalier, Jean-Paul Barnes, Franck Bassani, et al.. Combined ToF-SIMS and AFM protocol for accurate 3D chemical analysis and data visualization. Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics, 2018, 36 (3), pp.324 - 327. ⟨10.1116/1.5019464⟩. ⟨hal-01858392⟩
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