Article Dans Une Revue
Plasma Sources Science and Technology
Année : 2014
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01798624
Soumis le : mercredi 23 mai 2018-16:34:13
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:30:02
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01798624 , version 1
- DOI : 10.1088/0963-0252/23/2/025002
Citer
Maxime Darnon, Gilles Cunge, Nicholas St J Braithwaite. Time-resolved ion flux, electron temperature and plasma density measurements in a pulsed Ar plasma using a capacitively coupled planar probe. Plasma Sources Science and Technology, 2014, 23 (2), ⟨10.1088/0963-0252/23/2/025002⟩. ⟨hal-01798624⟩
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