Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01798532
Soumis le : mercredi 23 mai 2018-15:38:00
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01798532 , version 1
Citer
E. Despiau-Pujo, M. Brihoum, G. Cunge, M Darnon, N Braithwaite, et al.. Pulsed ICP plasmas processing: 0D Model vs. Experiments. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), 6th International Workshop, May 2014, grenoble, France. ⟨hal-01798532⟩
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