Article Dans Une Revue
physica status solidi (c)
Année : 2012
Dauverchain Eric : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01791393
Soumis le : lundi 14 mai 2018-15:47:59
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:07
Citer
Laurent Crampette, Gilles Poulain, Yvan Cuminal, Alain Foucaran, Yvon Pellegrin, et al.. Phosphorous diffusion through silicon nitride thin film for selective emitter application. physica status solidi (c), 2012, 9 (10-11), pp.2131 - 2133. ⟨10.1002/pssc.201200229⟩. ⟨hal-01791393⟩
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