Realization of porous silicon membranes for gas sensor applications - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Thin Solid Films Année : 1995

Realization of porous silicon membranes for gas sensor applications

Domaines

Electronique

Dates et versions

hal-01788490 , version 1 (09-05-2018)

Identifiants

Citer

T. Taliercio, M. Dilhan, E. Massone, A. Gué, B. Fraisse, et al.. Realization of porous silicon membranes for gas sensor applications. Thin Solid Films, 1995, 255 (1-2), pp.310 - 312. ⟨10.1016/0040-6090(94)05616-L⟩. ⟨hal-01788490⟩
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