Article Dans Une Revue
Thin Solid Films
Année : 2014
Christophe THIBAULT : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01784778
Soumis le : jeudi 3 mai 2018-17:16:05
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:07
Citer
Balint Fodor, Frédéric Cayrel, E. Agocs, Daniel Alquier, M. Fried, et al.. Characterization of In-Depth Cavity Distribution after Thermal Annealing of Helium-Implanted Silicon and Gallium Nitride. Thin Solid Films, 2014, 571, pp.567-572. ⟨10.1016/j.tsf.2014.02.014⟩. ⟨hal-01784778⟩
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