Materials science behind the Smart Cut process - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2018
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01767778 , version 1 (16-04-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01767778 , version 1

Citer

Nikolay Cherkashin, François-Xavier Darras, Nabil Daghbouj, Alain Claverie. Materials science behind the Smart Cut process. 22nd Intern. Conf. on Ion Implantation Technology (IIT 2018), Sep 2018, Würzburg, Germany. ⟨hal-01767778⟩
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