Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Vincenzo Della Marca : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01760568
Soumis le : vendredi 6 avril 2018-14:41:44
Dernière modification le : lundi 10 juin 2024-16:58:03
Citer
B. Rebuffat, V. Della Marca, P. Masson, L. Ogier, M. Mantelli, et al.. Effect of ions presence in the SiOCH inter metal dielectric structure. ESSDERC 2013 - 43rd European Solid State Device Research Conference, Sep 2013, Bucharest, France. ⟨10.1109/ESSDERC.2013.6818858⟩. ⟨hal-01760568⟩
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