Design and fabrication of an analog ASIC interfacing a μ-resonant capacitive MEMS sensor in a high-temperature environment (200°C) - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Design and fabrication of an analog ASIC interfacing a μ-resonant capacitive MEMS sensor in a high-temperature environment (200°C)

Olivier Robert
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 888334
  • IdRef : 060843764
Laboratoire de Mathématiques Unifiées de Saint-Etienne
Gilles Amendola
Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes
Hua Chen
Beijing Genomics Institute [Shenzhen]
Olivier Gigan
  • Fonction : Auteur

Domaines

Electronique

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https://hal.science/hal-01694309

Soumis le : samedi 27 janvier 2018-09:22:18

Dernière modification le : vendredi 19 juillet 2024-11:38:04

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Dates et versions

hal-01694309 , version 1 (27-01-2018)

Identifiants

Citer

Olivier Robert, Gilles Amendola, Hua Chen, Olivier Gigan. Design and fabrication of an analog ASIC interfacing a μ-resonant capacitive MEMS sensor in a high-temperature environment (200°C). SPIE's International Symposium on Smart Materials, Nano-, and Micro- Smart Systems, Dec 2002, Melbourne, Australia. ⟨10.1117/12.469399⟩. ⟨hal-01694309⟩

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