Influence of RF Bias on the Deposition of CrN Studied by OES - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Advanced Engineering Materials Année : 2008

Influence of RF Bias on the Deposition of CrN Studied by OES

Z. g. Zhang
  • Fonction : Auteur
O. Rapaud
D. Mercs
  • Fonction : Auteur
C. Coddet
  • Fonction : Auteur

Dates et versions

hal-01620679 , version 1 (20-10-2017)

Identifiants

Citer

Z. g. Zhang, O. Rapaud, N. Bonasso, D. Mercs, C. Dong, et al.. Influence of RF Bias on the Deposition of CrN Studied by OES. Advanced Engineering Materials, 2008, 10 (7), pp.628 - 633. ⟨10.1002/adem.200800053⟩. ⟨hal-01620679⟩
53 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More