Communication Dans Un Congrès
Année : 2017
Thomas Tillocher : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01561252
Soumis le : mercredi 12 juillet 2017-15:37:33
Dernière modification le : mardi 4 juin 2024-11:28:03
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01561252 , version 1
Citer
Mukesh Kulsreshath, Christophe Sinturel, Philippe Lefaucheux, Marylène Vayer, Thomas Tillocher, et al.. CRYOGENIC ETCHING APPLIED TO THE REALIZATION OF HIGH DENSITY CAPACITOR WITH A HOMOPOLYMER MASK. International Conference on Plasma Processes 2017 (CIP2017), Jun 2017, Nice, France. ⟨hal-01561252⟩
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