Notice d'installation et d'utilisation du four de degazage MBE32 sous CRYSTALXE
Résumé
L’évolution du matériel et des techniques au sein du laboratoire du LAAS-CNRS de Toulouse a permis la semi-automatisation du dégazage des substrats des réacteurs MBE 32 et MBE2300.
Le document qui suit vise à constituer de la manière la plus exhaustive possible, une trace de l’ensemble des informations liées à l’automatisation du dégazage des substrats et à expliquer son utilisation sous le logiciel CRYSTAL XE.
Fichier principal
Notice d'installation et d'utilisation du four de dégazage MBE32 ous CRYSTAL XE.pdf (593.81 Ko)
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