3D microelectronic with BEOL compatible devices - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

3D microelectronic with BEOL compatible devices

M. A-Bounouar
  • Fonction : Auteur
G. Droulers
  • Fonction : Auteur
Marina Labalette
  • Fonction : Auteur
M. Pioro-Ladriere
  • Fonction : Auteur
Abdelkader Souifi
S. Ecoffey

Résumé

This presentation will address the potential of nanoelectronic devices 3D monolithic integration in the CMOS back-end-of-line (BEOL) to add functionality and enhance integrated circuits (ICs) performances.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01489310 , version 1 (14-03-2017)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01489310 , version 1

Citer

D. Drouin, M. A-Bounouar, G. Droulers, Marina Labalette, M. Pioro-Ladriere, et al.. 3D microelectronic with BEOL compatible devices. 2015 IEEE 33rd VLSI TEST SYMPOSIUM (VTS),, 2015, Napa, CA,, United States. ⟨hal-01489310⟩
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