Structure and electronic properties of reactively RF magnetron sputtered ABO2N oxynitride thin films
Laurent Le Gendre
(1)
,
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Florent Marlec
(1)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Anthony Ferri
(2)
,
Didier Fasquelle
(3)
,
Vincent Laur
(4)
,
Simon Jacq
(1)
,
Franck Tessier
(5)
,
François Cheviré
(5)
,
Sébastien Saitzek
(2)
,
Rachel Desfeux
(2)
,
Ala Sharaiha
(1)
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Claire Le Paven-Thivet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 936698
Florent Marlec
- Fonction : Auteur
- PersonId : 18463
- IdHAL : florent-marlec
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Ratiba Benzerga
- Fonction : Auteur
- PersonId : 835208
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Anthony Ferri
- Fonction : Auteur
- PersonId : 16654
- IdHAL : anthony-ferri
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Didier Fasquelle
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1389508
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Vincent Laur
- Fonction : Auteur
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Franck Tessier
- Fonction : Auteur
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François Cheviré
- Fonction : Auteur
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Sébastien Saitzek
- Fonction : Auteur
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Rachel Desfeux
- Fonction : Auteur
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