MEMS de Piano, un TP de conception, de fabrication et test de résonateur MEMS - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01422452 , version 1 (26-12-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01422452 , version 1

Citer

Yoshio Mita, Kubota Manasori, Matthieu Denoual, Éric Lebrasseur, Sawamura Tomoki. MEMS de Piano, un TP de conception, de fabrication et test de résonateur MEMS. CETSIS, 2014, Besançon, France. ⟨hal-01422452⟩
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