Influence of plasma treatments and Sn incorporation on Ga2O3 properties
Alban Maertens
(1)
,
Samuel Margueron
(1)
,
Frédéric Genty
(1)
,
Adulfas Abrutis
(2)
,
Thierry Belmonte
(3)
,
Pascal Boulet
(3)
,
Jaafar Ghanbaja
(3)
,
Abdelkrim Talbi
(4)
,
Ausrine Bartasyte
(5)
1
LMOPS -
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes
2 Department of General and Inorganic Chemistry
3 IJL - Institut Jean Lamour
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 Department of General and Inorganic Chemistry
3 IJL - Institut Jean Lamour
4 IEMN - Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520
5 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
Alban Maertens
- Fonction : Auteur
- PersonId : 7480
- IdHAL : alban-maertens
- IdRef : 22161060X
Frédéric Genty
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4537
- IdHAL : frederic-genty
- IdRef : 13776670X
Thierry Belmonte
- Fonction : Auteur
- PersonId : 173103
- IdHAL : thierry-belmonte
- ORCID : 0000-0002-8572-7676
- IdRef : 074756591
Pascal Boulet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 10370
- IdHAL : pascal-boulet
- ORCID : 0000-0003-0684-4397
Jaafar Ghanbaja
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1125628
- IdHAL : ghanbaja
- ORCID : 0000-0003-2870-0570
- IdRef : 185194966
Abdelkrim Talbi
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748484
- IdHAL : abdelkrim-talbi
- ORCID : 0000-0002-7200-3636
- IdRef : 076947637
Ausrine Bartasyte
- Fonction : Auteur
- PersonId : 748654
- IdHAL : ausrine-bartasyte
- ORCID : 0000-0002-8862-2669
- IdRef : 131575287