Communication Dans Un Congrès Année : 2016
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01358883 , version 1 (01-09-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01358883 , version 1

Citer

Anne Lise Thomann, Nadjib Semmar, Pierre-Antoine Cormier, Stephanos Konstantinidis, Thomas Lecas, et al.. Diagnostic of energy transfers in sputter deposition: a way to investigate the sputtering process and the film growth. 15th International Conference on Plasma Surface Engineering, Sep 2016, Garmisch-Partenkirchen, Germany. ⟨hal-01358883⟩
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