Poster De Conférence
Année : 2015
Anne-Lise THOMANN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01290715
Soumis le : vendredi 18 mars 2016-14:08:37
Dernière modification le : mercredi 3 avril 2024-11:24:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01290715 , version 1
Citer
Coddet Pierre-Laurent, Amaël Caillard, Julien Vuillet, Caroline Richard, Anne-Lise Thomann. Multistep magnetron sputter process for deposition of thick, dense fully oxidized YSZ films with high deposition rates. 4th MIATEC and 14th RDS 2015 , Dec 2015, Paris, France. ⟨hal-01290715⟩
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