Energy influx measurements in low pressure plasmas for material processing - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01289043 , version 1 (16-03-2016)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01289043 , version 1

Citer

Anne-Lise Thomann, Pierre-Antoine Cormier, Remi Dussart, Nadjib Semmar, Jacky Mathias, et al.. Energy influx measurements in low pressure plasmas for material processing. Innovations in Thin Film Processing and Characterisation, and Magnetron, Ion Processing and Arc Technologies European Conference, ITFPC-MIATEC 2011 , Nov 2011, Nancy, France. ⟨hal-01289043⟩
31 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More