Dispositifs à base de couches minces ferroelectriques hautement accordables sous champ faible
Résumé
Nous présentons la conception et la caractérisation de condensateurs de type Métal/Ferroélectrique/Métal (MFM) à base de couches minces de BaxSr1-xTiO3 (x=2/3). La caractérisation du dispositif agile montre des proprié-tés au-delà de l’état de l’art, avec une accordabilité de l’ordre de 73% sous un champ électrique de 70 kV/cm à 2,45 GHz.