Lateral heat diffusion investigation of a layered structure: Application to the complete thermal characterization of a lithium phosphorous oxynitride film - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2013

Lateral heat diffusion investigation of a layered structure: Application to the complete thermal characterization of a lithium phosphorous oxynitride film

Laurent Belliard
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  • PersonId : 885478
Bernard Perrin
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S. Martin
C. Secouard
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J. -Y. Duquesne
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Résumé

We present a new method to measure without any calibration the thermal effusivity, conductivity, and diffusivity of an insulating layer deposited on a substrate, using lateral heat diffusion. The method is applied to Lithium phosphorous oxynitride, a thin film solid-state electrolyte used in micro-batteries. (C) 2013 AIP Publishing LLC.
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Dates et versions

hal-01233809 , version 1 (25-11-2015)

Identifiants

Citer

F. Xu, Christian Frétigny, D. Fournier, Laurent Belliard, S. Vincent, et al.. Lateral heat diffusion investigation of a layered structure: Application to the complete thermal characterization of a lithium phosphorous oxynitride film. Journal of Applied Physics, 2013, 113 (24), pp.244304. ⟨10.1063/1.4811520⟩. ⟨hal-01233809⟩
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