Energy flux measurements at the substrate deposition during reactive and non-reactive magnetron sputter deposition processes
Pierre-Antoine Cormier
(1)
,
A. Balhamri
(2)
,
Anne Lise Thomann
(1)
,
Remi Dussart
(1)
,
Nadjib Semmar
(1)
,
Thomas Lecas
(1)
,
Rony Snyders
(2, 3)
,
S. Konstantinidis
(2)
Pierre-Antoine Cormier
- Fonction : Auteur
- PersonId : 763896
- IdHAL : pierre-antoine-cormier
- ORCID : 0000-0002-0701-3571
- IdRef : 174802528
Remi Dussart
- Fonction : Auteur
- PersonId : 4419
- IdHAL : remi-dussart
Thomas Lecas
- Fonction : Auteur
- PersonId : 957609
S. Konstantinidis
- Fonction : Auteur
- PersonId : 932004