Sr<sub>2</sub>Ta<sub>2</sub>O<sub>7</sub>-based oxide and oxynitride perovskite films: reactive magnetron deposition and dielectric characterization - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2015

Sr2Ta2O7-based oxide and oxynitride perovskite films: reactive magnetron deposition and dielectric characterization

Simon Jacq
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Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Claire Le Paven-Thivet
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  • PersonId : 936698
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Ratiba Benzerga
Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Laurent Le Gendre
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Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Vincent Laur
Lab-STICC_UBO_MOM_MF
A. Ferri
UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
S. Saitzek
UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
CV
Rachel Desfeux
UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
Franck Tessier
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
CV
François Cheviré
Institut des Sciences Chimiques de Rennes
CV
Ala Sharaiha
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Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]

Ratiba Benzerga  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-01148563

Soumis le : lundi 4 mai 2015-19:03:46

Dernière modification le : jeudi 17 octobre 2024-11:46:04

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01148563 , version 1 (04-05-2015)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01148563 , version 1

Citer

Simon Jacq, Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, Vincent Laur, et al.. Sr2Ta2O7-based oxide and oxynitride perovskite films: reactive magnetron deposition and dielectric characterization. European Materials Research Society - EMRS 2015, May 2015, Lille, France. ⟨hal-01148563⟩

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