Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-01121718
Soumis le : lundi 2 mars 2015-14:33:46
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:00
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-01121718 , version 1
Citer
R. Cherfi, A. Benabdelmoumen, M. Kechouane, Tayeb Mohammed-Brahim. Effect of the substrate-holder bias voltage on the physical and chemical properties of a Si:H thin films prepared by DC magnetron sputtering. Conference on Thin Film Transistors ITC 2015, Feb 2015, Rennes, France. pp.101-102. ⟨hal-01121718⟩
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