Growth of (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films by radio frequency magnetron sputtering: Influence of the reactive atmosphere on the film structure - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Crystal Growth Année : 2015

Growth of (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films by radio frequency magnetron sputtering: Influence of the reactive atmosphere on the film structure

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hal-01102057 , version 1 (22-10-2015)

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Claire Le Paven, Laurent Le Gendre, Ratiba Benzerga, François Cheviré, Franck Tessier, et al.. Growth of (Sr,La)-(Ta,Ti)-O-N perovskite oxide and oxynitride films by radio frequency magnetron sputtering: Influence of the reactive atmosphere on the film structure. Journal of Crystal Growth, 2015, 413, pp.5-11. ⟨10.1016/j.jcrysgro.2014.12.001⟩. ⟨hal-01102057⟩
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