PiezoNEMS pour les systèmes autonomes : des capteurs aux nanogénérateurs
Résumé
La réduction d'échelle ne s'applique pas qu'à la seule microélectronique et à ses transistors, mais aussi aux microsystèmes (MEMS) qui permettent d'ajouter plus de fonctionnalités aux objets nomades tels que les téléphones portables ou les tablettes, en les dotant de capacités de mesure et d'interaction avec le monde qui nous entoure.C'est dans ce contexte que nous présenterons de nouveaux concepts de nanosystèmes (NEMS), allant des capteurs aux nanogénérateurs, dans une perspective d'intégration dans des systèmes autonomes.La présentation se focalisera en particulier sur des techniques originales de mesure de propriétés piezorésistives et piezoélectriques dans ces nanosystèmes, essentiellement constitués de nanofils semiconducteurs, ainsi que l'utilisation de concepts innovants pour la réalisation de capteurs et pour la récupération d'énergie mécanique.