Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy

Résumé

Nous présentons une façon de caractériser quantitativement des capacités sous échelle de 10 nm à l'aide d'un scanning-microwave-microscope modifié avec un interféromètre (iSMM). Des milliers de capacités à l'échelle nanométrique (nanoplots) et un kit de capacités de calibrages sont intégrés et scanné simultanément. Ceci permet la génération d'histogrammes calibré pour les nanoplots en déduisant leurs valeurs de capacités. A cette échelle, les petits ménisques d'eau entourant la pointe d'iSMM devrait être prise en compte. Bien que la sensibilité de la capacité mesurée soit inférieure à l'ordre des attofarads à quelques GHz, une pointe ultrasharp était encore nécessaire d'observer le signal pour les plus petits nanoplots.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01018379 , version 1 (04-07-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01018379 , version 1

Citer

Fei Wang, Nicolas Clément, Damien Ducatteau, David Troadec, Bernard Legrand, et al.. Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy. 17èmes Journées Nationales du Réseau Doctoral en Micro-Nanoélectronique, JNRDM 2014, 2014, Villeneuve d'Ascq, France. 3 p. ⟨hal-01018379⟩
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