Caractérisation quantitative des capacités sous échelle de 10 nm avec un interférométrique scanning-microwave-microscopy
Résumé
Nous présentons une façon de caractériser quantitativement des capacités sous échelle de 10 nm à l'aide d'un scanning-microwave-microscope modifié avec un interféromètre (iSMM). Des milliers de capacités à l'échelle nanométrique (nanoplots) et un kit de capacités de calibrages sont intégrés et scanné simultanément. Ceci permet la génération d'histogrammes calibré pour les nanoplots en déduisant leurs valeurs de capacités. A cette échelle, les petits ménisques d'eau entourant la pointe d'iSMM devrait être prise en compte. Bien que la sensibilité de la capacité mesurée soit inférieure à l'ordre des attofarads à quelques GHz, une pointe ultrasharp était encore nécessaire d'observer le signal pour les plus petits nanoplots.