Élaboration de microélectrodes par techniques originales basées sur la " lithographie douce "
Résumé
La lithographie douce et plus particulièrement la technique de microtamponnage sont utilisées ici dans le but de fabriquer des microélectrodes pouvant servir à l'élaboration de microcapteurs. Deux voies originales sont décrites, l'une basée sur le pelage localisé d'une couche métallique à l'aide d'un adhésif et l'autre sur la croissance localisée d'une couche métallique electroless. Il est montré que ces deux procédés permettent la reproduction de motifs à l'échelle micrométrique.