Elaboration in-situ de couches d'ITO par pulvérisation cathodique à température ambiante - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Elaboration in-situ de couches d'ITO par pulvérisation cathodique à température ambiante

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00960571 , version 1 (18-03-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00960571 , version 1

Citer

Tual Le Guillerm, Sonia Vigneron, Xavier Castel, Gérard Legeay, Jacques Pinel. Elaboration in-situ de couches d'ITO par pulvérisation cathodique à température ambiante. Journées de caractérisation Micro-ondes et Matériaux, Mar 2002, Toulouse, France. ⟨hal-00960571⟩
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